微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)銷售微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設(shè)備，該設(shè)備在常規(guī)產(chǎn)品上進行了一系列的改進，包括：供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)Φ60*1000mm （Φ30/50/80/100mm可選）1200℃（短期）1100℃ 爐管兩端配有快開式密封法蘭 至大承載量：1000Lbs；抽氣速率:10m3/h極限真空度：10-1Pa雙極旋片機械泵：極限10^-1Pa分子泵機組：極限10^-3 Pa 雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C；高純狀氧化鋁纖維絕緣層，節(jié)約能源；爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命。微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)銷售