反應(yīng)燒結(jié)碳化硅陶瓷懸臂槳

產(chǎn)品概要： 懸臂槳，是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。KCE?系列反應(yīng)燒結(jié)碳化硅陶瓷懸臂槳性能穩(wěn)定，在高溫環(huán)境不變形，晶圓裝載量大，適用于機(jī)器人自動(dòng)裝載和搬運(yùn)系統(tǒng)，且其截面穩(wěn)定不變形，使得利用現(xiàn)有的爐管制備更大規(guī)格晶圓成為可能。加之與LPCVD涂層的熱膨脹系數(shù)相近，應(yīng)用于LPCVD，可極大地延長維護(hù)清洗周期，并大幅減少污染物。